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氟及氟氮混合气

Fluorine and mixed gases of fluorine-nitrogen

国家标准 推荐性 现行

国家标准《氟及氟氮混合气》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中核红华特种气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司山东锐华氟业有限公司核工业理化工程研究院西南化工研究设计院

主要起草人 杜伟华贺国武李建浩李春晓等

目录

1标准状态

  • 发布于2011-01-14
  • 执行于2011-05-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 26251-2010
发布日期
2011-01-14
实施日期
2011-05-01
中国标准分类号
G86
国际标准分类号
71.100.20
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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