关键尺寸(CD)计量方法
CD Metrology procedures
国家标准《关键尺寸(CD)计量方法》由TC203（全国半导体设备和材料标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为国家标准化管理委员会。
主要起草单位 中国科学院微电子中心 。
目录
1标准状态
- 发布于1999-09-13
- 执行于2000-06-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 17864-1999
- 发布日期
- 1999-09-13
- 实施日期
- 2000-06-01
- 中国标准分类号
- L56
- 国际标准分类号
- 31.200
- 归口单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 主管部门
- 国家标准化管理委员会
中国科学院微电子中心