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焦深与最佳聚焦的测量规范

Specification for measuring depth of focus and best focus

国家标准 推荐性 现行

国家标准《焦深与最佳聚焦的测量规范》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 中国科学院微电子中心

目录

1标准状态

  • 发布于1999-09-13
  • 执行于2000-06-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 17865-1999
发布日期
1999-09-13
实施日期
2000-06-01
中国标准分类号
L56
国际标准分类号
31.200
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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