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硅-蓝宝石外延片

Silicon on sapphire epitaxial wafers

国家标准 推荐性 现行

国家标准《硅-蓝宝石外延片》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口上报及执行,主管部门为国家标准化管理委员会。

主要起草单位 天津半导体技术研究所

目录

1标准状态

  • 发布于1992-12-28
  • 执行于1993-08-01
  • 废止于

2基础信息

标准号
GB/T 14015-1992
发布日期
1992-12-28
实施日期
1993-08-01
中国标准分类号
L90
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
执行单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门
国家标准化管理委员会

3起草单位

4起草人

5相近标准(计划)

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