真空镀膜设备通用技术条件
Vacuum coating plant generic specification
国家标准《真空镀膜设备通用技术条件》由TC18（全国真空技术标准化技术委员会）归口上报及执行，主管部门为中国机械工业联合会。
主要起草单位 北京北仪创新真空技术有限责任公司 、上海曙光机械制造厂有限公司 、兰州真空设备有限责任公司 、成都南光机器有限公司 、中国航天科技集团第五研究院510研究所等 。
主要起草人 陈月增 、谢钧荣 、范立群 、孙凯 、温发兰等 。
目录
1标准状态
- 发布于2011-11-21
- 执行于2012-03-01
- 废止于
2基础信息
- 标准号
- GB/T 11164-2011
- 发布日期
- 2011-11-21
- 实施日期
- 2012-03-01
- 全部代替标准
- GB/T 11164-1999
- 中国标准分类号
- J78
- 国际标准分类号
- 23.160
- 归口单位
- 全国真空技术标准化技术委员会
- 执行单位
- 全国真空技术标准化技术委员会
- 主管部门
- 中国机械工业联合会
北京北仪创新真空技术有限责任公司